단파장 자외선(194, 254nm)에 의한 세정ㆍ표면 개질은 고가의 아크 플라즈마, 진공 플라즈마 장비가 불필요하며 플라즈마의 문제점인 스트리머(streamer) 나 아크(arc) 발생을 원천적으로 제거하므로 기판 손상(Damage) 없이 정밀 세정을 할 수 있고 다른 건식 세정과 비교해 다음과 같은 장점을 가지고 있습니다.
- 세정 효과가 높음 ( 접촉각 > 5 )
- 플라즈마에 비해 라인 신뢰성이 높음
- 고전압을 사용하지 않으므로 Trouble이 거의 없음
- 분위기 가스가 직접 이온화 하지 않으므로 회로(Circuit) 에 손상(Damage)이 없음
- 라인의 확장성이 용이
- Line Speed가 향상됨
- 연속 생산 공정이 가능
- 시설 투자비가 적게 듬